4200A-SCS是一款模塊化、完全集成的參數(shù)分析儀，具有晶圓級可靠性測試功能。

該系統(tǒng)允許對半導(dǎo)體器件和測試結(jié)構(gòu)進行直流I-V，脈沖I-V和C-V表征，先進的數(shù)字掃描參數(shù)分析儀結(jié)合了亞微米的測試速度和精度。4200A-SCS可以提供多達9個插槽，用于支持源測量單元 (SMU)，電容電壓單元 (CVU) 和脈沖測量單元 (PMU)， 可以通過GPIB、以太網(wǎng)或RS-232連接來控制其他外部儀器，如開關(guān)矩陣、LCR儀表和探針臺。該軟件包括一個測試序列管理器、交互式測試設(shè)置界面、類似excel的數(shù)據(jù)表格、繪圖功能。在交互式手動模式（用于開發(fā)期間的單個測試操作）或更自動化的生產(chǎn)用例中，它使用起來更靈活。

賽儀歐電子4200A-SCS具備以下特點：

? 在不影響準確性和外推壽命的情況下，硬件和軟件能加速測試。

? 控制半自動或自動探針臺和溫控托盤。

? 控制儀器、探頭、托盤，創(chuàng)建測試、執(zhí)行測試、管理數(shù)據(jù)。

? 可更改應(yīng)力序列，以應(yīng)對新材料測試和失效機制。

? 分析軟件，提供易于提取的測試參數(shù)和繪圖工具。

4200A-SCS系統(tǒng)提供的標配軟件Clarius包括一組用于WLR測試的項目。這些項目包括一個具有可配置的測試級和項目級的應(yīng)力測量循環(huán)，以及一個用于在晶圓上每個site上進行測試的循環(huán)項目。圖3顯示了HCI范例項目。該圖顯示了某一個特定的參數(shù)隨時間推移而被測試，每個點代表一個應(yīng)力周期后不同的測量。左邊的窗口是測試序列，顯示了測試的順序和項目的整體結(jié)構(gòu)。在Clarius項目庫中中有幾個用于WLR測試的項目，包括 :

■ 熱載流子注入（HCI）

■ 負溫度偏置不穩(wěn)定性（NBTI）

■ 電遷移了（EM）

■ 電荷擊穿（QBD）

不斷變化的測試要求工程師找到高效合適的設(shè)備和適合工藝開發(fā)的儀器。所選擇的工具應(yīng)該采集應(yīng)力引起的參數(shù)退化的所有相關(guān)數(shù)據(jù)，并且能靈活適應(yīng)非傳統(tǒng)的WLR測試，例如應(yīng)力C-V、NBTI等等。

這個工具還應(yīng)該是可擴展的，這樣就不需要每次出現(xiàn)新的測試問題都去購買一個全新的系統(tǒng)。這個工具應(yīng)該易于理解，這樣工程師就可以把寶貴的時間集中在分析數(shù)據(jù)上，而不是學習使用測試系統(tǒng)。

WLR應(yīng)力測量測試趨勢

HCI

NBTI/PBTI

NBTI–HCI

TDDB–NBTI

電荷捕獲

脈沖/DC應(yīng)力

綜合表征 (I-V, C-V, CP)

不斷發(fā)展的設(shè)計尺度和新材料使得可靠性測試比以往任何時候都更加重要，4200A-SCS參數(shù)分析儀和工具包提供了快速測試所需的硬件和軟件以及完整的器件特性和可靠性測試。

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