S540全自動晶圓級參數(shù)測試系統(tǒng)，也稱功率半導(dǎo)體參數(shù)系統(tǒng)。

S540是一個全自動化的 48 引腳參數(shù)測試系統(tǒng)，適用于高達 3kV 的功率半導(dǎo)體器件和結(jié)構(gòu)的晶片級測試。完全集成式 S540 已針對包括碳化硅 (SiC) 和氮化鎵 (GaN) 在內(nèi)的最新復(fù)合功率半導(dǎo)體材料進行優(yōu)化，可以在單次測試觸摸中執(zhí)行所有高電壓、低電壓和電容測試。

S540 功能

• 在單次探頭觸摸中自動在多達 48 個引腳上執(zhí)行所有晶片級參數(shù)測試，包括高電壓擊穿、電容和低電壓測量，而無需更改電纜或探頭卡基礎(chǔ)設(shè)施
• 在最高達 3kV 的條件下執(zhí)行晶體管電容測量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而無需手動配置測試引腳
• 在高速、多引腳、全自動測試環(huán)境中實現(xiàn)低電平測量性能
• 基于 Linux 的 Keithley 測試環(huán)境 (KTE) 系統(tǒng)軟件支持輕松進行測試開發(fā)和快速執(zhí)行
• 非常適合于過程集成、過程控制監(jiān)控和生產(chǎn)芯片分類中的全自動或半自動應(yīng)用
• 通過最大程度減少測試時間、測試設(shè)置時間和占地面積，降低擁有成本，同時實現(xiàn)實驗室級測量性能